金属材料的抛光液、抛光磨盘及抛光方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202110865362.7
申请日
2021-07-29
公开(公告)号
CN113528027A
公开(公告)日
2021-10-22
发明(设计)人
白杨 张志宇 罗霄 王孝坤 张学军
申请人
申请人地址
130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
IPC主分类号
C09G102
IPC分类号
B24B100 B24B4104
代理机构
长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218
代理人
高一明;郭婷
法律状态
实质审查的生效
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
抛光液及应用该抛光液对CdS晶片抛光的抛光方法 [P]. 
李晖 ;
徐永宽 ;
程红娟 .
中国专利 :CN102952467A ,2013-03-06
[2]
金属抛光液和抛光方法 [P]. 
山田彻 ;
菊池信 ;
稻叶正 ;
松野孝洋 ;
富贺敬充 ;
高桥和敬 .
中国专利 :CN101275057A ,2008-10-01
[3]
抛光液及使用该抛光液的抛光方法 [P]. 
上村哲也 .
中国专利 :CN101333417A ,2008-12-31
[4]
金属抛光液和使用该金属抛光液的抛光方法 [P]. 
富贺敬充 ;
加藤知夫 .
中国专利 :CN101230238A ,2008-07-30
[5]
抛光液 [P]. 
施翊璇 ;
汤弢 .
中国专利 :CN116285697B ,2025-04-11
[6]
抛光液及使用该抛光液的抛光方法 [P]. 
上村哲也 .
中国专利 :CN101397482A ,2009-04-01
[7]
抛光液和抛光方法 [P]. 
斋江俊之 .
中国专利 :CN101397480A ,2009-04-01
[8]
抛光液和抛光有色金属材料的方法 [P]. 
铃木祥一郎 ;
有田了 ;
福井洋一 ;
土家和代 .
中国专利 :CN1667076A ,2005-09-14
[9]
一种抛光液及采用该抛光液的抛光方法 [P]. 
徐贤德 .
中国专利 :CN109536038A ,2019-03-29
[10]
大尺寸硅片边缘的抛光液、抛光液制备方法及抛光方法 [P]. 
潘国顺 ;
陈高攀 ;
罗桂海 ;
罗海梅 ;
周艳 ;
潘立焱 .
中国专利 :CN113004804B ,2021-06-22