MEMS器件及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410113760.3

申请日：

2014-03-25

公开(公告)号：

CN104944360A

公开(公告)日：

2015-09-30

发明(设计)人：

徐伟刘国安

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B81B702 G01P1508 G01L900

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-17	授权	授权
2015-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101631725595 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2014101137603 申请日:20140325
2015-09-30	公开	公开

共 50 条

[1]

MEMS器件及其形成方法 [P].

徐伟 ;

刘国安 .

中国专利 :CN104944359B ,2015-09-30

[2]

集成MEMS器件及其形成方法 [P].

柳连俊 .

中国专利 :CN102180435B ,2011-09-14

[3]

MEMS器件及其形成方法 [P].

刘育嘉 ;

朱家骅 ;

彭荣辉 ;

张贵松 ;

郑钧文 .

中国专利 :CN104340953B ,2015-02-11

[4]

一种MEMS器件及其形成方法 [P].

李森科·伊戈尔·叶夫根耶维奇 ;

徐宝 ;

徐元 ;

吴刚 .

中国专利 :CN112225170B ,2021-01-15

[5]

MEMS器件及其形成方法 [P].

辛淼 ;

许继辉 ;

刘国安 ;

张兆林 .

中国专利 :CN113460956A ,2021-10-01

[6]

MEMS器件及其形成方法 [P].

辛淼 ;

许继辉 ;

刘国安 ;

张兆林 .

中国专利 :CN113460956B ,2024-05-24

[7]

MEMS器件及其形成方法 [P].

冯霞 ;

黄河 ;

刘煊杰 ;

张海芳 .

中国专利 :CN104609358A ,2015-05-13

[8]

MEMS器件及其形成方法 [P].

梁凯智 ;

朱家骅 ;

李德浩 ;

李久康 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN103193193A ,2013-07-10

[9]

MEMS器件及其形成方法 [P].

张城龙 ;

何其暘 .

中国专利 :CN104697702A ,2015-06-10

[10]

MEMS器件及其形成方法 [P].

阮炯明 ;

张冬平 .

中国专利 :CN105523519A ,2016-04-27

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