MEMS器件及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010239106.2

申请日：

2020-03-30

公开(公告)号：

CN113460956A

公开(公告)日：

2021-10-01

发明(设计)人：

辛淼许继辉刘国安张兆林

申请人：

申请人地址：

312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号

IPC主分类号：

B81C300

IPC分类号：

B81C100 B81B702

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

曹廷廷

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-01	公开	公开
2021-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 3/00 申请日:20200330

共 50 条

[1]

MEMS器件及其形成方法 [P].

辛淼 ;

许继辉 ;

刘国安 ;

张兆林 .

中国专利 :CN113460956B ,2024-05-24

[2]

MEMS器件及其形成方法 [P].

徐伟 ;

刘国安 .

中国专利 :CN104944359B ,2015-09-30

[3]

MEMS器件及其形成方法 [P].

冯霞 ;

黄河 ;

刘煊杰 ;

张海芳 .

中国专利 :CN104609358A ,2015-05-13

[4]

MEMS器件及其形成方法 [P].

刘育嘉 ;

朱家骅 ;

彭荣辉 ;

张贵松 ;

郑钧文 .

中国专利 :CN104340953B ,2015-02-11

[5]

MEMS器件及其形成方法 [P].

梁凯智 ;

朱家骅 ;

李德浩 ;

李久康 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN103193193A ,2013-07-10

[6]

MEMS器件及其形成方法 [P].

张城龙 ;

何其暘 .

中国专利 :CN104697702A ,2015-06-10

[7]

MEMS器件及其形成方法 [P].

阮炯明 ;

张冬平 .

中国专利 :CN105523519A ,2016-04-27

[8]

MEMS器件及其形成方法 [P].

郑晨焱 ;

张挺 .

中国专利 :CN102303844A ,2012-01-04

[9]

MEMS器件及其形成方法 [P].

徐伟 ;

刘国安 .

中国专利 :CN104944360A ,2015-09-30

[10]

MEMS器件及其形成方法 [P].

毛剑宏 ;

韩凤芹 .

中国专利 :CN102198925B ,2011-09-28

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