MEMS器件及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310647709.6

申请日：

2013-12-04

公开(公告)号：

CN104697702A

公开(公告)日：

2015-06-10

发明(设计)人：

张城龙何其暘

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G01L912

IPC分类号：

B81C100 B81B300

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101616038883 IPC(主分类):G01L 9/12 专利申请号:2013106477096 申请日:20131204
2015-06-10	公开	公开
2017-06-13	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS器件及其形成方法 [P].

李鑫 .

中国专利 :CN108996466A ,2018-12-14

[2]

MEMS器件及其形成方法 [P].

徐伟 ;

刘国安 .

中国专利 :CN104944359B ,2015-09-30

[3]

MEMS器件及其形成方法 [P].

辛淼 ;

许继辉 ;

刘国安 ;

张兆林 .

中国专利 :CN113460956A ,2021-10-01

[4]

MEMS器件及其形成方法 [P].

辛淼 ;

许继辉 ;

刘国安 ;

张兆林 .

中国专利 :CN113460956B ,2024-05-24

[5]

MEMS器件及其形成方法 [P].

冯霞 ;

黄河 ;

刘煊杰 ;

张海芳 .

中国专利 :CN104609358A ,2015-05-13

[6]

MEMS器件及其形成方法 [P].

刘育嘉 ;

朱家骅 ;

彭荣辉 ;

张贵松 ;

郑钧文 .

中国专利 :CN104340953B ,2015-02-11

[7]

MEMS器件及其形成方法 [P].

梁凯智 ;

朱家骅 ;

李德浩 ;

李久康 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN103193193A ,2013-07-10

[8]

MEMS器件及其形成方法 [P].

阮炯明 ;

张冬平 .

中国专利 :CN105523519A ,2016-04-27

[9]

MEMS器件及其形成方法 [P].

郑晨焱 ;

张挺 .

中国专利 :CN102303844A ,2012-01-04

[10]

MEMS器件及其形成方法 [P].

徐伟 ;

刘国安 .

中国专利 :CN104944360A ,2015-09-30

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