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半导体切筋站点用的吹气装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021292319.3
申请日：
2020-07-02
公开(公告)号：
CN212883921U
公开(公告)日：
2021-04-06
发明(设计)人：
钟何莉
赵云峻
张超
卢红平
赵攀登
申请人：
申请人地址：
201306 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区芦潮港路1758号1幢18641室
IPC主分类号：
B08B502
IPC分类号：
B08B1300
代理机构：
上海唯源专利代理有限公司 31229
代理人：
汪家瀚
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-06 | 授权 | 授权 |