一种半导体设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202021873549.9
申请日
2020-09-01
公开(公告)号
CN213212119U
公开(公告)日
2021-05-14
发明(设计)人
杨安立 彭科津 邵风展
申请人
申请人地址
230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
IPC主分类号
H01L2167
IPC分类号
H01L21687
代理机构
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人
林凡燕
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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