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一种半导体设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421025721.3
申请日：
2024-05-11
公开(公告)号：
CN222514887U
公开(公告)日：
2025-02-21
发明(设计)人：
于洋
张金彪
张宝宝
申请人：
上海光通信有限公司
申请人地址：
201815 上海市嘉定区兴贤路1180号3号楼
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
C23C16/455
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
赵素香
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-21 | 授权 | 授权 |