遮挡装置及真空溅射机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620650052.8

申请日：

2016-06-27

公开(公告)号：

CN205999470U

公开(公告)日：

2017-03-08

发明(设计)人：

乔恩琳杨大可张杨吉冠腾

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市江苏省昆山市开发区龙腾路1号4幢

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

智云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-08	授权	授权

共 50 条

[1]

溅射镀膜阻挡装置及真空溅射镀膜机 [P].

郝志毅 ;

曹乐 ;

封伟博 ;

何灿 ;

王杰 .

中国专利 :CN119571271A ,2025-03-07

[2]

真空镀膜用遮挡装置 [P].

杨明生 ;

刘惠森 ;

范继良 ;

叶宗锋 ;

王曼媛 ;

王勇 .

中国专利 :CN201605316U ,2010-10-13

[3]

真空溅射镀膜装置 [P].

余华骏 ;

江维 ;

饶志刚 .

中国专利 :CN204198843U ,2015-03-11

[4]

真空溅射镀膜装置 [P].

姜友松 ;

葛鹤龄 ;

程序雳 .

中国专利 :CN119061363A ,2024-12-03

[5]

真空溅射镀膜装置 [P].

祝海生 ;

力家东 ;

黄乐 ;

孙桂红 ;

潘继峰 .

中国专利 :CN216786250U ,2022-06-21

[6]

真空溅射沉积装置 [P].

申承勋 .

中国专利 :CN213203181U ,2021-05-14

[7]

一种真空镀膜机的遮挡装置 [P].

黄鹏飞 ;

朱星宇 .

中国专利 :CN216192650U ,2022-04-05

[8]

一种真空溅射镀膜装置 [P].

胡兴微 ;

蒋玉东 .

中国专利 :CN212152430U ,2020-12-15

[9]

一种真空溅射镀膜装置 [P].

闫都伦 ;

王克斌 ;

吴细标 ;

唐贵民 .

中国专利 :CN204803396U ,2015-11-25

[10]

一种真空溅射镀膜装置 [P].

胡兴微 ;

蒋玉东 .

中国专利 :CN212175030U ,2020-12-18

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