一种用于半导体设备的光学检测装置

被引：0

申请号：

CN202221805312.6

申请日：

2022-07-12

公开(公告)号：

CN217931448U

公开(公告)日：

2022-11-29

发明(设计)人：

易玲玲

申请人：

申请人地址：

211111 江苏省南京市江宁区秣陵街道蓝霞路9号2幢（悦之恒）

IPC主分类号：

G01N21956

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于半导体设备的光学检测装置 [P].

王迪杏 ;

蒋伟 ;

王宁 ;

张阳 ;

秦文兵 ;

王金裕 ;

苗全 ;

盛路阳 ;

王伟 ;

顾育琪 .

中国专利 :CN211741035U ,2020-10-23

[2]

一种用于半导体设备的光学检测装置和检测方法 [P].

张辉 ;

杜冰洁 .

中国专利 :CN107664476A ,2018-02-06

[3]

一种半导体光学检测设备 [P].

吴卫红 .

中国专利 :CN218121739U ,2022-12-23

[4]

一种半导体光学检测设备 [P].

王垚森 .

中国专利 :CN216900243U ,2022-07-05

[5]

一种半导体光学检测设备 [P].

潘光玉 ;

刘锋武 ;

叶涵 .

中国专利 :CN217521044U ,2022-09-30

[6]

一种半导体光学检测设备 [P].

赵江民 .

中国专利 :CN221123443U ,2024-06-11

[7]

一种半导体光学检测设备支撑装置 [P].

王建安 ;

徐兆存 .

中国专利 :CN221548202U ,2024-08-16

[8]

一种稳定的半导体光学检测设备支撑装置 [P].

徐建涛 ;

王燕平 ;

陈红德 .

中国专利 :CN221592248U ,2024-08-23

[9]

一种稳定的半导体光学检测设备支撑装置 [P].

王燕平 ;

秦志强 ;

刘锋 .

中国专利 :CN216556102U ,2022-05-17

[10]

一种半导体光学检测设备用分类装置 [P].

安路 ;

孙小城 ;

杨世勇 .

中国专利 :CN221125904U ,2024-06-11

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