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一种密封提升机构及半导体设备
被引:0
申请号
:
CN202222331014.4
申请日
:
2022-08-31
公开(公告)号
:
CN217947541U
公开(公告)日
:
2022-12-02
发明(设计)人
:
韩高锋
姚鑫磊
申请人
:
申请人地址
:
214028 江苏省无锡市新吴区观山路1号
IPC主分类号
:
B66F700
IPC分类号
:
B66F728
F16J1516
C23C1424
代理机构
:
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463
代理人
:
安卫静
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-12-02
授权
授权
共 50 条
[1]
半导体设备密封提升机构
[P].
曹华文
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
苏州珏阳精密机械有限公司
苏州珏阳精密机械有限公司
曹华文
.
中国专利
:CN222577316U
,2025-03-07
[2]
一种半导体设备密封结构及半导体设备
[P].
孙文彬
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孙文彬
;
戴建波
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戴建波
.
中国专利
:CN217081396U
,2022-07-29
[3]
一种半导体设备密封锁紧机构
[P].
刘鹏
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刘鹏
;
徐文立
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徐文立
;
胡建宇
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胡建宇
;
何鑫辉
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何鑫辉
.
中国专利
:CN217149399U
,2022-08-09
[4]
半导体密封装置及半导体设备
[P].
周敏玲
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机构:
上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
周敏玲
;
谢婉扬
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机构:
上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
谢婉扬
;
闫晓晖
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机构:
上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
闫晓晖
;
张强强
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机构:
上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
张强强
.
中国专利
:CN223648526U
,2025-12-09
[5]
密封推拉门机构以及半导体设备
[P].
朱常兴
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机构:
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
朱常兴
;
赵文斌
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机构:
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
赵文斌
;
蒋健君
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机构:
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
蒋健君
;
王志康
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机构:
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
王志康
.
中国专利
:CN220539546U
,2024-02-27
[6]
密封推拉门机构以及半导体设备
[P].
朱常兴
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机构:
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
朱常兴
;
赵文斌
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机构:
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
赵文斌
;
蒋健君
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机构:
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
蒋健君
;
王志康
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机构:
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
王志康
.
中国专利
:CN220539547U
,2024-02-27
[7]
密封门及半导体设备
[P].
吴涛
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机构:
北京七星华创集成电路装备有限公司
北京七星华创集成电路装备有限公司
吴涛
;
韩彬
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机构:
北京七星华创集成电路装备有限公司
北京七星华创集成电路装备有限公司
韩彬
;
田永安
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机构:
北京七星华创集成电路装备有限公司
北京七星华创集成电路装备有限公司
田永安
.
中国专利
:CN222649843U
,2025-03-21
[8]
密封门及半导体设备
[P].
张景南
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机构:
南京屹立芯创半导体科技有限公司
南京屹立芯创半导体科技有限公司
张景南
;
巫碧勤
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机构:
南京屹立芯创半导体科技有限公司
南京屹立芯创半导体科技有限公司
巫碧勤
;
彭俊昇
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机构:
南京屹立芯创半导体科技有限公司
南京屹立芯创半导体科技有限公司
彭俊昇
;
万航
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机构:
南京屹立芯创半导体科技有限公司
南京屹立芯创半导体科技有限公司
万航
.
中国专利
:CN115749542B
,2025-05-02
[9]
半导体工艺设备及其基座提升机构
[P].
祖梦硕
论文数:
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祖梦硕
.
中国专利
:CN114156225A
,2022-03-08
[10]
一种旋转密封机构及半导体沉积设备
[P].
梁德富
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机构:
江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司
江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司
梁德富
;
林佳继
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机构:
江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司
江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司
林佳继
.
中国专利
:CN119400680B
,2025-03-25
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