一种侧边紧凑贴合的晶圆取放机械手

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911240139.2

申请日：

2019-12-06

公开(公告)号：

CN110911340A

公开(公告)日：

2020-03-24

发明(设计)人：

覃冬梅

申请人：

申请人地址：

518060 广东省深圳市深圳大学袖海楼401房

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-24	公开	公开
2022-01-11	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L 21/687 申请公布日:20200324
2020-04-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20191206

共 50 条

[1]

晶圆自动取放机械手 [P].

周振根 .

中国专利 :CN203218245U ,2013-09-25

[2]

晶圆自动取放机械手 [P].

周振根 .

中国专利 :CN104037114B ,2014-09-10

[3]

一种晶圆取放机械手 [P].

张庆钊 ;

陈百捷 ;

姚广军 ;

王镇清 .

中国专利 :CN110091340B ,2019-08-06

[4]

一种取放晶圆机械手 [P].

丁波 ;

张伟 ;

李轶 ;

陈瀚 ;

谷卫东 ;

杭海燕 ;

侯金松 ;

黄振亚 ;

康夏雷 ;

魏方超 ;

赵栋栋 ;

智朋 .

中国专利 :CN223092842U ,2025-07-11

[5]

一种晶圆取放机械手及限位装置 [P].

张庆钊 ;

陈百捷 ;

姚广军 ;

王镇清 .

中国专利 :CN110176422A ,2019-08-27

[6]

一种多轴取放机械手 [P].

郭勇 ;

张展嘉 .

中国专利 :CN206913150U ,2018-01-23

[7]

一种用于晶圆取放的机械手装置 [P].

周静 ;

郭钰 ;

沈鹏远 ;

杨建 ;

彭同华 ;

曾江 ;

彭勇 .

中国专利 :CN221427706U ,2024-07-26

[8]

用于取放晶圆的机械手及晶圆搬运系统 [P].

李向峰 ;

张永盛 .

中国专利 :CN223052128U ,2025-07-01

[9]

取放机械手 [P].

王绍勇 ;

孙振聪 ;

郭昂 .

中国专利 :CN118617385A ,2024-09-10

[10]

取放机械手 [P].

吴雪亮 ;

徐明 .

中国专利 :CN214981044U ,2021-12-03

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