一种平面蒸发的坩埚装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201920525000.1
申请日
2019-04-17
公开(公告)号
CN209957884U
公开(公告)日
2020-01-17
发明(设计)人
不公告发明人
申请人
申请人地址
351100 福建省莆田市涵江区涵中西路1号
IPC主分类号
C23C1412
IPC分类号
C23C1426
代理机构
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219
代理人
徐剑兵;林祥翔
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种平面蒸发的蒸发源 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN209957886U ,2020-01-17
[2]
一种坩埚蒸发装置 [P]. 
臧世伟 ;
刘文卿 .
中国专利 :CN212247190U ,2020-12-29
[3]
一种蒸发坩埚 [P]. 
姚树达 ;
张静静 ;
刘兵银 ;
焦春柳 .
中国专利 :CN221122977U ,2024-06-11
[4]
一种坩埚和蒸发装置 [P]. 
关立伟 .
中国专利 :CN205839115U ,2016-12-28
[5]
一种蒸发均匀的分体式坩埚 [P]. 
刘汝强 ;
王殿春 ;
孙蕾 ;
吴思华 .
中国专利 :CN212925147U ,2021-04-09
[6]
一种坩埚及蒸发镀膜装置 [P]. 
于钦芳 ;
罗万里 .
中国专利 :CN223061060U ,2025-07-04
[7]
一种用于坩埚蒸发器的坩埚电源 [P]. 
孙雪平 ;
龙会跃 ;
姚志丹 ;
唐景庭 ;
戴习毛 .
中国专利 :CN2795232Y ,2006-07-12
[8]
一种位置可调的蒸发坩埚 [P]. 
李贤兵 .
中国专利 :CN222684731U ,2025-03-28
[9]
一种蒸发均匀的组合坩埚 [P]. 
刘汝强 ;
王殿春 ;
孙蕾 .
中国专利 :CN211170852U ,2020-08-04
[10]
一种用于蒸发源的坩埚 [P]. 
于钦芳 ;
罗万里 .
中国专利 :CN223118532U ,2025-07-18