一种坩埚蒸发装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020904066.4

申请日：

2020-05-26

公开(公告)号：

CN212247190U

公开(公告)日：

2020-12-29

发明(设计)人：

臧世伟刘文卿

申请人：

申请人地址：

401420 重庆市綦江区古南街道陵园路28号

IPC主分类号：

C23C1426

IPC分类号：

代理机构：

深圳市远航专利商标事务所(普通合伙) 44276

代理人：

张朝阳;田艺儿

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/26 申请日:20200526 授权公告日:20201229 终止日期:20210526
2020-12-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种坩埚和蒸发装置 [P].

关立伟 .

中国专利 :CN205839115U ,2016-12-28

[2]

热蒸发坩埚和热蒸发装置 [P].

倪健 ;

孙志鹏 ;

薛聪 .

中国专利 :CN214400692U ,2021-10-15

[3]

一种蒸发坩埚 [P].

姚树达 ;

张静静 ;

刘兵银 ;

焦春柳 .

中国专利 :CN221122977U ,2024-06-11

[4]

一种平面蒸发的坩埚装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN209957884U ,2020-01-17

[5]

一种坩埚及蒸发镀膜装置 [P].

于钦芳 ;

罗万里 .

中国专利 :CN223061060U ,2025-07-04

[6]

热蒸发坩埚和热蒸发装置 [P].

倪健 ;

孙志鹏 ;

薛聪 .

中国专利 :CN112430799A ,2021-03-02

[7]

一种蒸发源坩埚高度调节装置 [P].

闻益 .

中国专利 :CN221440844U ,2024-07-30

[8]

一种四坩埚蒸发源 [P].

刘玉翔 ;

肖文德 ;

乔璐 ;

李骥 ;

张旭 ;

彭祥麟 ;

肖佩瑶 ;

韩俊峰 ;

姚裕贵 .

中国专利 :CN216639707U ,2022-05-31

[9]

一种线性蒸发源坩埚 [P].

何文双 ;

罗武峰 ;

吴炜钦 ;

蔡晓义 .

中国专利 :CN215593171U ,2022-01-21

[10]

坩埚组件和蒸发装置 [P].

夏锐 ;

姜文辉 ;

贺锐 ;

罗文杰 ;

苏兆俊 ;

李红江 ;

张学玲 .

中国专利 :CN221217907U ,2024-06-25

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