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一种坩埚和蒸发装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201620776889.7
申请日：
2016-07-21
公开(公告)号：
CN205839115U
公开(公告)日：
2016-12-28
发明(设计)人：
关立伟
申请人：
申请人地址：
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
H01L5156
代理机构：
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291
代理人：
黄志华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-12-28 | 授权 | 授权 |