刻蚀终点检测方法及装置

被引：0

申请号：

CN202210203194.X

申请日：

2022-03-02

公开(公告)号：

CN114582699A

公开(公告)日：

2022-06-03

发明(设计)人：

常晓阳王新河林晓阳赵巍胜

申请人：

申请人地址：

100191 北京市海淀区学院路37号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

叶明川;董骁毅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20220302
2022-06-03	公开	公开

共 50 条

[1]

刻蚀终点检测方法及装置 [P].

常晓阳 ;

王新河 ;

林晓阳 ;

赵巍胜 .

中国专利 :CN114582699B ,2024-11-05

[2]

刻蚀终点检测方法及装置 [P].

常晓阳 ;

王新河 ;

林晓阳 ;

赵巍胜 .

中国专利 :CN114582700B ,2024-11-19

[3]

刻蚀终点检测方法及装置 [P].

常晓阳 ;

王新河 ;

林晓阳 ;

赵巍胜 .

中国专利 :CN114582700A ,2022-06-03

[4]

刻蚀终点检测方法 [P].

罗永坚 ;

张颂周 ;

任昱 ;

朱骏 ;

吕煜坤 ;

张旭升 .

中国专利 :CN104392946A ,2015-03-04

[5]

刻蚀终点检测方法及装置 [P].

林晓阳 ;

王新河 ;

常晓阳 ;

李燊 ;

赵巍胜 .

中国专利 :CN114724915A ,2022-07-08

[6]

刻蚀终点检测方法及装置 [P].

林晓阳 ;

王新河 ;

常晓阳 ;

李燊 ;

赵巍胜 .

中国专利 :CN114724915B ,2024-12-13

[7]

刻蚀终点检测方法及装置 [P].

车翰宣 ;

金钟洙 ;

高潇嫚 .

中国专利 :CN117894717A ,2024-04-16

[8]

一种等离子体刻蚀终点检测系统及刻蚀终点检测方法 [P].

方铭国 .

中国专利 :CN121215542A ,2025-12-26

[9]

一种等离子体刻蚀终点检测系统及刻蚀终点检测方法 [P].

牛夷 ;

姜晶 ;

陈浩林 ;

李璇 ;

李志强 ;

王超 .

中国专利 :CN117451636A ,2024-01-26

[10]

终点检测方法及终点检测装置 [P].

山下武志 ;

山口峰生 .

中国专利 :CN1306568C ,2005-02-02

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