刻蚀终点检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410652851.4

申请日：

2014-11-17

公开(公告)号：

CN104392946A

公开(公告)日：

2015-03-04

发明(设计)人：

罗永坚张颂周任昱朱骏吕煜坤张旭升

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01J3732

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;林彦之

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101603709912 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2014106528514 申请日:20141117
2015-03-04	公开	公开
2017-06-23	授权	授权

共 50 条

[1]

刻蚀终点检测系统及方法 [P].

杨剑 ;

杨俊 ;

梁晓明 ;

冯锐 ;

朱普磊 .

中国专利 :CN118352215A ,2024-07-16

[2]

一种等离子体刻蚀终点检测系统及刻蚀终点检测方法 [P].

牛夷 ;

姜晶 ;

陈浩林 ;

李璇 ;

李志强 ;

王超 .

中国专利 :CN117451636A ,2024-01-26

[3]

侧墙刻蚀终点检测优化方法 [P].

刘周 .

中国专利 :CN119089172A ,2024-12-06

[4]

刻蚀终点检测方法及装置 [P].

常晓阳 ;

王新河 ;

林晓阳 ;

赵巍胜 .

中国专利 :CN114582699A ,2022-06-03

[5]

刻蚀终点检测方法及装置 [P].

常晓阳 ;

王新河 ;

林晓阳 ;

赵巍胜 .

中国专利 :CN114582699B ,2024-11-05

[6]

一种等离子体刻蚀终点检测系统及刻蚀终点检测方法 [P].

方铭国 .

中国专利 :CN121215542A ,2025-12-26

[7]

刻蚀终点检测设备 [P].

张黎明 ;

丁亮亮 ;

肖亦然 ;

郭军涛 ;

云燕午 ;

唐凯 .

中国专利 :CN309346134S ,2025-06-20

[8]

刻蚀终点检测设备 [P].

张黎明 ;

丁亮亮 ;

肖亦然 ;

郭军涛 ;

云燕午 ;

唐凯 .

中国专利 :CN309478657S ,2025-09-05

[9]

栅极刻蚀方法、栅极刻蚀终点检测方法与系统 [P].

马擎天 ;

刘乒 ;

张海洋 .

中国专利 :CN100576452C ,2008-12-24

[10]

刻蚀终点检测方法及装置 [P].

常晓阳 ;

王新河 ;

林晓阳 ;

赵巍胜 .

中国专利 :CN114582700B ,2024-11-19

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