具有降低的残留物的组合物

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201810201038.3
申请日
2018-03-12
公开(公告)号
CN108567581A
公开(公告)日
2018-09-25
发明(设计)人
D·加西亚 S·考尔 J·尼古罗沃斯基 L·德雷德
申请人
申请人地址
美国新泽西州
IPC主分类号
A61K837
IPC分类号
A61Q1900
代理机构
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人
张静;余颖
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
降低沟槽内残留物的方法 [P]. 
厉渊 ;
刘昌伙 .
中国专利 :CN101819930A ,2010-09-01
[2]
残留物含量降低的感光组合物连续液态加工法 [P]. 
M·R·麦基弗 .
中国专利 :CN100350327C ,2001-04-25
[3]
用于清除侧壁残留物的组合物 [P]. 
R·梅利斯 ;
M·伯尔纳 ;
L·阿尔诺德 ;
A·巴尔科 ;
R·莱茵 .
中国专利 :CN100375250C ,2005-08-31
[4]
用于去除刻蚀残留物的组合物 [P]. 
刘兵 ;
彭洪修 ;
王淑敏 .
中国专利 :CN101490627B ,2009-07-22
[5]
清除蚀刻残留物的组合物及其应用 [P]. 
R·J·罗维托 ;
D·B·雷尼 ;
D·L·杜汉 .
中国专利 :CN1278975C ,2005-09-07
[6]
具有下游残留物清洗的球阀 [P]. 
安德拉斯·托莫尔 ;
彼得·托特 ;
阿约索·尼尔莫洛 ;
克里斯托弗·布莱登 ;
克里斯托弗·R·沙杰斯 ;
小拉里·D·雷 .
:CN120359372A ,2025-07-22
[7]
降低蚀刻的多层叠片中的残留物形成 [P]. 
F·Y·徐 ;
W·刘 ;
C·B·布罗克斯 ;
D·L·拉布拉克 ;
D·J·伦茨 .
中国专利 :CN101816062A ,2010-08-25
[8]
残留物的去除方法 [P]. 
李强 ;
丁士成 .
中国专利 :CN101567300B ,2009-10-28
[9]
用于去除蚀刻后残留物的清洁组合物 [P]. 
M·佩恩 ;
E·库珀 ;
金万涞 ;
E·洪 ;
S·金 .
中国专利 :CN110023477A ,2019-07-16
[10]
残留物的清除方法 [P]. 
侯红娟 ;
刘轩 ;
朱建野 .
中国专利 :CN106298442B ,2017-01-04