一种硅片承载装置的托盘固定结构

被引：0

申请号：

CN202220876896.X

申请日：

2022-04-16

公开(公告)号：

CN217182150U

公开(公告)日：

2022-08-12

发明(设计)人：

高晗吴明贵刘小明

申请人：

申请人地址：

226000 江苏省南通市高新区碧华路1199号东久（南通）智造园A5

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

C23C1450

代理机构：

南通市永通专利事务所(普通合伙) 32100

代理人：

葛雷

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种新型硅片承载装置 [P].

高晗 ;

吴明贵 ;

刘小明 ;

张帆 ;

龚汉亮 .

中国专利 :CN217182148U ,2022-08-12

[2]

一种硅片承载装置 [P].

高晗 ;

吴明贵 ;

刘小明 ;

张清清 ;

龚汉亮 .

中国专利 :CN114783922A ,2022-07-22

[3]

一种硅片承载装置 [P].

高晗 ;

吴明贵 ;

刘小明 ;

张清清 ;

龚汉亮 .

中国专利 :CN114783922B ,2025-11-21

[4]

一种硅片承载装置的承载框结构 [P].

高晗 ;

吴明贵 ;

刘小明 ;

张清清 ;

龚汉亮 .

中国专利 :CN217182149U ,2022-08-12

[5]

用于镀膜的承载托盘、硅片承载装置及硅片传输系统 [P].

张文 .

中国专利 :CN207909907U ,2018-09-25

[6]

托盘固定结构及托盘固定装置 [P].

张军辉 ;

王明镜 ;

蒋聪聪 ;

官林 ;

马锡锋 ;

彭爱成 ;

王世峰 .

中国专利 :CN223559567U ,2025-11-18

[7]

一种真空镀膜承载装置的固定结构 [P].

杨宗明 ;

王小东 ;

高晗 ;

张清清 .

中国专利 :CN223226172U ,2025-08-15

[8]

一种托盘固定结构 [P].

易晶 .

中国专利 :CN206734845U ,2017-12-12

[9]

一种新型硅片承载装置 [P].

姜林勇 .

中国专利 :CN202651085U ,2013-01-02

[10]

一种硅片承载盘及硅片承载装置 [P].

唐青刚 ;

李文红 ;

杨宗明 ;

高晗 .

中国专利 :CN209963035U ,2020-01-17

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