一种新型硅片承载装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201220279670.8
申请日
2012-06-14
公开(公告)号
CN202651085U
公开(公告)日
2013-01-02
发明(设计)人
姜林勇
申请人
申请人地址
314206 浙江省嘉兴市平湖市新仓镇童车路
IPC主分类号
H01L21687
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
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共 50 条
[1]
一种新型硅片承载装置 [P]. 
高晗 ;
吴明贵 ;
刘小明 ;
张帆 ;
龚汉亮 .
中国专利 :CN217182148U ,2022-08-12
[2]
新型硅片承载装置 [P]. 
高晗 ;
吴明贵 ;
刘小明 ;
张清清 ;
龚汉亮 .
中国专利 :CN216972676U ,2022-07-15
[3]
一种硅片承载盘及硅片承载装置 [P]. 
唐青刚 ;
李文红 ;
杨宗明 ;
高晗 .
中国专利 :CN209963035U ,2020-01-17
[4]
一种新型硅片承载花篮 [P]. 
周祥磊 .
中国专利 :CN213546278U ,2021-06-25
[5]
一种硅片承载装置 [P]. 
高晗 ;
吴明贵 ;
刘小明 ;
张清清 ;
龚汉亮 .
中国专利 :CN216818295U ,2022-06-24
[6]
一种硅片承载装置 [P]. 
廖余华 ;
赵晔 ;
王诗合 .
中国专利 :CN202038590U ,2011-11-16
[7]
一种硅片承载装置 [P]. 
高晗 ;
吴明贵 ;
刘小明 ;
张清清 ;
龚汉亮 .
中国专利 :CN114783922A ,2022-07-22
[8]
一种硅片承载装置 [P]. 
高晗 ;
吴明贵 ;
刘小明 ;
张清清 ;
龚汉亮 .
中国专利 :CN114783922B ,2025-11-21
[9]
一种硅片承载装置 [P]. 
张春华 ;
陈佳男 ;
衡阳 ;
郑旭然 ;
孟祥熙 ;
李栋 .
中国专利 :CN205282495U ,2016-06-01
[10]
一种硅片承载装置 [P]. 
顾韻 ;
陆宇 .
中国专利 :CN222281949U ,2024-12-31