浅沟槽隔离结构的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011013437.0

申请日：

2020-09-24

公开(公告)号：

CN111933566A

公开(公告)日：

2020-11-13

发明(设计)人：

周儒领蔡君正许宗能吴佳特詹奕鹏

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十三街29号院一区2号楼13层1302-C54

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

H01L21306

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

曹廷廷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/762 申请日:20200924
2021-09-24	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/762 申请公布日:20201113
2020-11-13	公开	公开

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

林竞尧 ;

肖春光 .

中国专利 :CN101197304A ,2008-06-11

[2]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

王飞飞 ;

张继亮 ;

李小康 ;

王裕晓 .

中国专利 :CN113223995A ,2021-08-06

[3]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

何永根 .

中国专利 :CN104425343A ,2015-03-18

[4]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

邓浩 ;

严琰 ;

杨军 ;

彭婷婷 .

中国专利 :CN106653675B ,2017-05-10

[5]

浅沟槽隔离结构形成方法 [P].

胡正军 .

中国专利 :CN101937862A ,2011-01-05

[6]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

郑春生 ;

张文广 ;

陈玉文 .

中国专利 :CN103531521A ,2014-01-22

[7]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

沈满华 ;

陈海华 ;

韩宝东 .

中国专利 :CN101752290B ,2010-06-23

[8]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

杨芸 .

中国专利 :CN104103571B ,2014-10-15

[9]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张翼英 .

中国专利 :CN103811403B ,2014-05-21

[10]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

郑春生 ;

张文广 ;

陈玉文 .

中国专利 :CN103515291A ,2014-01-15

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