浅沟槽隔离结构的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310491518.5

申请日：

2013-10-18

公开(公告)号：

CN103531521A

公开(公告)日：

2014-01-22

发明(设计)人：

郑春生张文广陈玉文

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

陆花

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-01-22	公开	公开
2014-02-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101573732809 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2013104915185 申请日:20131018
2017-03-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101749216558 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2013104915185 申请公布日:20140122

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

郑春生 ;

张文广 ;

陈玉文 .

中国专利 :CN103515291A ,2014-01-15

[2]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张翼英 .

中国专利 :CN103811403B ,2014-05-21

[3]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

王硕 ;

许忠义 .

中国专利 :CN103050431A ,2013-04-17

[4]

浅沟槽隔离结构的形成方法及浅沟槽隔离结构 [P].

居健 ;

陈爱军 .

中国专利 :CN111354675A ,2020-06-30

[5]

形成浅沟槽隔离结构的方法和浅沟槽隔离结构 [P].

刘明源 ;

吴汉明 ;

郭佳衢 ;

郑春生 .

中国专利 :CN101123204A ,2008-02-13

[6]

浅沟槽隔离结构及其形成方法 [P].

宋化龙 .

中国专利 :CN103377981B ,2013-10-30

[7]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

周儒领 ;

蔡君正 ;

许宗能 ;

吴佳特 ;

詹奕鹏 .

中国专利 :CN111933566A ,2020-11-13

[8]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

林竞尧 ;

肖春光 .

中国专利 :CN101197304A ,2008-06-11

[9]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

沈满华 ;

陈海华 ;

韩宝东 .

中国专利 :CN101752290B ,2010-06-23

[10]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

王飞飞 ;

张继亮 ;

李小康 ;

王裕晓 .

中国专利 :CN113223995A ,2021-08-06

← 1 2 3 4 5 →