一种透光性硬质氮化碳薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711285578.6

申请日：

2017-12-07

公开(公告)号：

CN108165952A

公开(公告)日：

2018-06-15

发明(设计)人：

姜礼华彭宇汪涛肖婷向鹏谭新玉

申请人：

申请人地址：

443002 湖北省宜昌市大学路8号

IPC主分类号：

C23C1634

IPC分类号：

C23C16513 C23C1602 C23C1656

代理机构：

宜昌市三峡专利事务所 42103

代理人：

成钢

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-15	公开	公开
2019-11-08	授权	授权
2018-07-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/34 申请日:20171207

共 50 条

[1]

一种非晶碳薄膜材料的低温制备方法 [P].

姜礼华 ;

肖业权 ;

谭新玉 ;

肖婷 ;

向鹏 ;

孙宜华 .

中国专利 :CN105386002A ,2016-03-09

[2]

一种制备氮化碳薄膜的方法 [P].

汪建新 ;

闫浩然 ;

姜崇喜 ;

杨国强 ;

陈太军 ;

陈迪 .

中国专利 :CN105331949B ,2016-02-17

[3]

纳米多晶氮化碳薄膜的制备方法 [P].

刘维民 ;

郝俊英 .

中国专利 :CN101205608A ,2008-06-25

[4]

一种用于氮化碳薄膜制备的化学吸附方法 [P].

刘键 ;

饶志鹏 ;

夏洋 ;

石莎莉 .

中国专利 :CN102011103B ,2011-04-13

[5]

一种单晶立方型氮化碳薄膜的制备方法 [P].

刘键 ;

饶志鹏 ;

夏洋 ;

石莎莉 .

中国专利 :CN102115878B ,2011-07-06

[6]

制备结晶氮化碳薄膜的方法及装置 [P].

马志斌 ;

万军 ;

汪建华 ;

王卫红 .

中国专利 :CN1271244C ,2003-12-24

[7]

一种含硅纳米粒子的氮化硅薄膜制备方法 [P].

曾祥斌 ;

姜礼华 ;

张笑 .

中国专利 :CN102220568A ,2011-10-19

[8]

一种单晶立方形氮化碳薄膜的制备方法 [P].

饶志鹏 ;

万军 ;

夏洋 ;

陈波 ;

李超波 ;

石莎莉 ;

李勇滔 ;

李楠 .

中国专利 :CN103205806B ,2013-07-17

[9]

一种碳自掺杂氮化碳光电薄膜的制备方法 [P].

沈洪雪 ;

李刚 ;

金克武 ;

王天齐 .

中国专利 :CN110983273A ,2020-04-10

[10]

一种单晶硅太阳能电池减反钝化膜的制备方法 [P].

姜礼华 ;

谭新玉 ;

肖婷 ;

向鹏 .

中国专利 :CN107863394B ,2018-03-30

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