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磁控管及磁控溅射设备

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921035886.8
申请日：
2019-07-04
公开(公告)号：
CN210420141U
公开(公告)日：
2020-04-28
发明(设计)人：
耿波 罗建恒 王磊 杨玉杰 杨帆 陈鑫 寇旭亮 王大男 王厚工
申请人：
申请人地址：
100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
彭瑞欣;张天舒
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-04-28 授权 授权
共 50 条
[1]
磁控管及磁控溅射系统 [P]. 
杨玉杰 ;
张禄禄 .
中国专利 :CN107447195B ,2017-12-08
[2]
磁控管及磁控溅射装置 [P]. 
朱廷 ;
董新宇 .
中国专利 :CN223660184U ,2025-12-12
[3]
螺旋形磁控管及磁控溅射设备 [P]. 
杨玉杰 ;
李强 ;
邱国庆 ;
白志民 ;
王厚工 ;
丁培军 ;
吕峰 .
中国专利 :CN104810228A ,2015-07-29
[4]
一种磁控管及磁控溅射设备 [P]. 
宗令蓓 ;
耿波 .
中国专利 :CN103177916A ,2013-06-26
[5]
磁控溅射腔室、磁控溅射设备以及磁控管 [P]. 
杨玉杰 ;
张同文 .
中国专利 :CN108004516B ,2018-05-08
[6]
磁控管组件及磁控溅射设备 [P]. 
武学伟 .
中国专利 :CN106032569A ,2016-10-19
[7]
磁控管装置和磁控溅射设备 [P]. 
陈媛媛 ;
王磊 .
中国专利 :CN121109967A ,2025-12-12
[8]
磁控管组件及磁控溅射设备 [P]. 
刘菲菲 ;
王宽冒 .
中国专利 :CN107435134B ,2017-12-05
[9]
磁控管装置及磁控溅射设备 [P]. 
郭浩 ;
王厚工 ;
李冬冬 ;
佘清 ;
杨玉杰 ;
刘学滨 .
中国专利 :CN114774872A ,2022-07-22
[10]
磁控管装置及磁控溅射设备 [P]. 
李强 ;
王磊 .
中国专利 :CN115305454A ,2022-11-08
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