互连结构及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910197090.7

申请日：

2009-10-13

公开(公告)号：

CN102044475A

公开(公告)日：

2011-05-04

发明(设计)人：

聂佳相

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23528

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李丽

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-12-12	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101485347416 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2009101970907 变更事项:申请人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:申请人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20121113
2011-06-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101080110034 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2009101970907 申请日:20091013
2016-03-02	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101728485828 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2009101970907 申请公布日:20110504
2011-05-04	公开	公开

共 50 条

[1]

互连结构及其形成方法 [P].

金吉松 .

中国专利 :CN114068451A ,2022-02-18

[2]

互连结构及其形成方法 [P].

王琪 .

中国专利 :CN102044471A ,2011-05-04

[3]

互连结构及其形成方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN105140172A ,2015-12-09

[4]

互连结构及其形成方法 [P].

王琪 ;

周鸣 .

中国专利 :CN102054755A ,2011-05-11

[5]

互连结构及其形成方法 [P].

王琪 .

中国专利 :CN102034733A ,2011-04-27

[6]

铝互连结构及其形成方法 [P].

黑泽和则 .

中国专利 :CN110335816A ,2019-10-15

[7]

电互连结构及其形成方法 [P].

洪中山 .

中国专利 :CN104952786B ,2015-09-30

[8]

金属互连结构及其形成方法 [P].

蒲贤勇 ;

陈宗高 ;

王刚宁 ;

陈轶群 .

中国专利 :CN104733374A ,2015-06-24

[9]

铜互连结构及其形成方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN102956546A ,2013-03-06

[10]

互连结构的形成方法 [P].

韩秋华 .

中国专利 :CN104347488B ,2015-02-11

← 1 2 3 4 5 →