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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-24 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 29/78 申请日:20100211 授权公告日:20120530 终止日期:20220211 |
| 2012-05-30 | 授权 | 授权 |
| 2010-10-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101006686826 IPC(主分类):H01L 29/78 专利申请号:201010121457X 申请日:20100211 |
| 2010-08-18 | 公开 | 公开 |