一种基于嵌入式电极侧向场激励的FBAR及其制作方法

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专利类型
发明
申请号
CN201210150828.6
申请日
2012-05-15
公开(公告)号
CN102664602A
公开(公告)日
2012-09-12
发明(设计)人
金浩 朱琦 周剑 冯斌 王德苗
申请人
申请人地址
310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
IPC主分类号
H03H917
IPC分类号
H03H302
代理机构
杭州天勤知识产权代理有限公司 33224
代理人
胡红娟
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
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[4]
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[9]
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