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键合系统和键合方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111594258.5
申请日：
2021-12-24
公开(公告)号：
CN113990790B
公开(公告)日：
2022-01-28
发明(设计)人：
田应超
刘天建
曹瑞霞
汪松
申请人：
申请人地址：
430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新四路18号新芯生产线厂房及配套设施2幢OS6号
IPC主分类号：
H01L2168
IPC分类号：
H01L21683
H01L2167
H01L2150
代理机构：
北京派特恩知识产权代理有限公司 11270
代理人：
高天华;蒋雅洁
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-18 | 授权 | 授权 |
| 2022-01-28 | 公开 | 公开 |
| 2022-02-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20211224 |