一种低温等离子体处理装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310439012.X

申请日：

2013-09-24

公开(公告)号：

CN103458599B

公开(公告)日：

2013-12-18

发明(设计)人：

何祝兵王春柱苏奇聪

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号

IPC主分类号：

H05H100

IPC分类号：

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;熊永强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-01	授权	授权
2013-12-18	公开	公开
2014-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101562730020 IPC(主分类):H05H 1/00 专利申请号:201310439012X 申请日:20130924

共 50 条

[1]

一种低温等离子体处理装置 [P].

何祝兵 ;

王春柱 ;

苏奇聪 .

中国专利 :CN203574925U ,2014-04-30

[2]

一种空气流量可调的低温等离子体处理装置 [P].

黄文涛 ;

储丽娟 ;

吉宇尘 ;

邓呈逊 ;

俞志敏 .

中国专利 :CN210631853U ,2020-05-29

[3]

低温等离子体处理装置 [P].

朱本科 ;

柴方刚 ;

刘培华 ;

刘云启 .

中国专利 :CN211411557U ,2020-09-04

[4]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

周虎 ;

刘身健 ;

谢小兵 ;

严利均 .

中国专利 :CN106937472A ,2017-07-07

[5]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

平山昌树 ;

大见忠弘 .

中国专利 :CN102057762A ,2011-05-11

[6]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

矢幡将二郎 ;

佐藤徹治 .

中国专利 :CN113345787A ,2021-09-03

[7]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

岸宏树 ;

徐智洙 .

中国专利 :CN106920733B ,2017-07-04

[8]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

矢幡将二郎 ;

佐藤徹治 .

日本专利 :CN113345787B ,2025-07-25

[9]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

佐藤阳介 ;

宇井明生 ;

林久贵 .

中国专利 :CN105280489A ,2016-01-27

[10]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

有田洁 ;

岩井哲博 ;

寺山纯一 .

中国专利 :CN1516890A ,2004-07-28

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