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基板处理装置用气体供给喷管
被引：0
专利类型：
外观设计
申请号：
CN201830750750.X
申请日：
2018-12-24
公开(公告)号：
CN305241274S
公开(公告)日：
2019-07-02
发明(设计)人：
齐木浩二
津里诚
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
2301
IPC分类号：
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
陈伟;刘伟志
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-07-02 | 授权 | 授权 |