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基板处理装置用气体供给喷管
被引：0
专利类型：
外观设计
申请号：
CN201530450680.2
申请日：
2015-11-12
公开(公告)号：
CN303969774S
公开(公告)日：
2016-12-14
发明(设计)人：
藤野敏树
高木康祐
笹岛亮太
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
1599
IPC分类号：
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
陈伟
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-12-28 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 主分类号:15-99 登记生效日:20181207 变更事项:专利权人 变更前权利人:株式会社日立国际电气 变更后权利人:株式会社国际电气 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京都 变更后权利人:日本东京都 |
| 2016-12-14 | 授权 | 授权 |