用于离子注入机的氢气发生器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980007028.9

申请日：

2019-01-22

公开(公告)号：

CN111542909A

公开(公告)日：

2020-08-14

发明(设计)人：

尼尔·科尔文哲-简·谢理查德·雷舒特温迪·科尔比

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州比佛利市

IPC主分类号：

H01J37317

IPC分类号：

H01J3708

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019

代理人：

刘新宇;寿宁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-14	公开	公开
2021-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/317 申请日:20190122

共 50 条

[1]

用于离子注入机的氢气发生器 [P].

尼尔·科尔文 ;

哲-简·谢 ;

理查德·雷舒特 ;

温迪·科尔比 .

美国专利 :CN111542909B ,2024-05-28

[2]

离子注入机中离子发生器 [P].

彭强祥 ;

刘仁杰 .

中国专利 :CN216597491U ,2022-05-24

[3]

离子注入机 [P].

山下贵敏 ;

池尻忠司 ;

田中浩平 ;

赵维江 ;

田中秀之 .

中国专利 :CN101162679B ,2008-04-16

[4]

离子注入机和采用此离子注入机的离子注入方法 [P].

吴相根 ;

文常营 ;

金定坤 ;

金度亨 .

中国专利 :CN1189921C ,1997-09-10

[5]

离子注入机 [P].

崔保群 ;

曹耀辉 ;

李志军 ;

路瑞亮 .

中国专利 :CN203055853U ,2013-07-10

[6]

离子注入机 [P].

付国柱 ;

邵喜斌 ;

荆海 ;

廖燕平 ;

高文涛 ;

史辉琨 .

中国专利 :CN1547240A ,2004-11-17

[7]

离子注入机 [P].

张晓峰 ;

彭海 ;

王吉祥 .

中国专利 :CN303339370S ,2015-08-19

[8]

离子注入机 [P].

山下贵敏 ;

藤田秀树 .

中国专利 :CN101174534B ,2008-05-07

[9]

离子注入机 [P].

王蒙 ;

李勇滔 ;

赵章琰 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN103137447A ,2013-06-05

[10]

离子注入机 [P].

刘智远 ;

李嵘 ;

高伟 ;

周光亮 ;

李志鹏 .

中国专利 :CN223501804U ,2025-10-31

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