一种晶圆减薄机工作台角度的调节机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202023274607.9

申请日：

2020-12-30

公开(公告)号：

CN214025183U

公开(公告)日：

2021-08-24

发明(设计)人：

吴东晓

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区张公路36号

IPC主分类号：

B24B4102

IPC分类号：

B24B4700 B24B720

代理机构：

无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471

代理人：

张姝

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种工作台及晶圆减薄机 [P].

林世权 ;

卓柳福 ;

刘全益 ;

胡敬祥 .

中国专利 :CN115771077B ,2025-06-17

[2]

一种旋转工作台及晶圆减薄机 [P].

贺东葛 ;

杨生荣 ;

张文斌 ;

刘宇光 ;

白阳 .

中国专利 :CN105538147A ,2016-05-04

[3]

一种砂盘机工作台角度调节机构 [P].

樊兹夫 ;

单志定 .

中国专利 :CN202106305U ,2012-01-11

[4]

一种磨削工作台和晶圆减薄设备 [P].

刘远航 ;

王江涛 ;

赵德文 ;

李长坤 ;

路新春 .

中国专利 :CN212240352U ,2020-12-29

[5]

一种晶圆减薄机 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221621862U ,2024-08-30

[6]

一种晶圆减薄机的厚度检测机构 [P].

洪志清 ;

李健飞 .

中国专利 :CN220761982U ,2024-04-12

[7]

一种晶圆减薄机的减薄转台装置 [P].

付强 ;

陈宁 ;

刘大伟 ;

梁永聪 ;

马宇宙 ;

邓捷 .

中国专利 :CN223012843U ,2025-06-24

[8]

晶圆减薄设备及用于晶圆减薄设备的主轴倾角调节机构 [P].

曹心想 ;

杜梦嘉 ;

张秋峰 ;

李永康 ;

吕鹏 .

中国专利 :CN222831536U ,2025-05-06

[9]

一种卷圆机工作台 [P].

王金山 ;

杨德峰 .

中国专利 :CN211330831U ,2020-08-25

[10]

一种轴承加工工作台角度调节机构 [P].

李留江 .

中国专利 :CN220922019U ,2024-05-10

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