上部电极和等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210033958.1

申请日：

2012-02-15

公开(公告)号：

CN102647846A

公开(公告)日：

2012-08-22

发明(设计)人：

松山昇一郎

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-10-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101333910091 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:2012100339581 申请日:20120215
2015-07-08	授权	授权
2012-08-22	公开	公开

共 50 条

[1]

上部电极构造和等离子体处理装置 [P].

佐藤徹治 .

日本专利 :CN118043945A ,2024-05-14

[2]

上部电极和等离子体处理装置 [P].

林大辅 ;

石田寿文 ;

木村滋利 .

中国专利 :CN1310290C ,2004-12-01

[3]

上部电极、等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

田中善嗣 ;

南雅人 .

中国专利 :CN100431097C ,2006-12-27

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

里吉务 ;

佐藤亮 ;

佐佐木和男 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN100543944C ,2005-11-09

[5]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

齐藤均 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN101465283A ,2009-06-24

[6]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

齐藤均 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN101969016A ,2011-02-09

[7]

电极板、电极组件和等离子体处理装置 [P].

有吉文彬 ;

花冈秀敏 .

日本专利 :CN119790716A ,2025-04-08

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理装置用的电极 [P].

桧森慎司 ;

林大辅 .

中国专利 :CN101896033B ,2010-11-24

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理装置用的电极 [P].

桧森慎司 .

中国专利 :CN101826434B ,2010-09-08

[10]

等离子体处理装置、处理方法及上部电极构造 [P].

四本松康太 ;

石桥淳治 ;

佐佐木淳一 ;

花冈秀敏 .

日本专利 :CN112447484B ,2025-08-29

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