非晶碳膜的分子层沉积

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110253002.1

申请日：

2021-03-08

公开(公告)号：

CN113373429A

公开(公告)日：

2021-09-10

发明(设计)人：

巴斯卡尔·乔蒂·布雅马克·沙丽阿布海杰特·巴苏·马利克尤金·于金·空齐波

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1656

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-10	公开	公开

共 50 条

[1]

高温沉积非晶碳层的方法 [P].

马丁·杰西蒙斯 ;

尤加南德·N·萨利帕里 ;

光得·道格拉斯·李 ;

博·恒·金 ;

维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南 ;

温蒂·H·叶 ;

约瑟芬·汝－伟·张刘 ;

埃米尔·阿拉－巴亚提 ;

德里克·R·维迪 ;

伊沙姆·迈'萨德 .

中国专利 :CN101407909A ,2009-04-15

[2]

用于重整非晶碳聚合物膜的方法 [P].

T.J.V.布兰夸特 .

中国专利 :CN111910175A ,2020-11-10

[3]

降低在沉积非晶碳膜时晶圆背面金属污染的方法 [P].

朱亚丹 ;

周军 .

中国专利 :CN103219226B ,2013-07-24

[4]

非晶碳膜的膜厚监测方法 [P].

王莎莎 ;

张富伟 ;

袁智琦 ;

陈东华 .

中国专利 :CN110243331A ,2019-09-17

[5]

非晶碳膜、形成非晶碳膜的方法、具有非晶碳膜的导电性部件以及燃料电池用隔板 [P].

伊关崇 ;

山田由香 ;

中西和之 ;

大岛正 ;

森广行 ;

堀江俊男 ;

铃木宪一 ;

北原学 .

中国专利 :CN101448740B ,2009-06-03

[6]

沉积具有改进密度与阶梯覆盖的非晶碳膜的方法 [P].

迪内士·帕德希 ;

哈阳成 ;

苏达·拉西 ;

德里克·R·维迪 ;

程秋 ;

朴贤秀 ;

加内什·巴拉萨布拉曼尼恩 ;

卡希克·贾纳基拉曼 ;

马丁·杰·西蒙斯 ;

维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南 ;

金柏涵 ;

伊沙姆·迈’萨德 .

中国专利 :CN101981659A ,2011-02-23

[7]

正形碳膜沉积 [P].

P·曼纳 ;

A·玛里克 .

中国专利 :CN112262227B ,2021-01-22

[8]

一种表面改性非晶碳膜的消融针和非晶碳膜的制备方法 [P].

曹旭丹 ;

宓娅娜 ;

杨辉 .

中国专利 :CN115505877A ,2022-12-23

[9]

一种类金刚石非晶碳膜与类石墨非晶碳膜复合的非晶碳镀层的制备工艺 [P].

聂雄辉 ;

陈明辉 ;

黄榜 ;

侯东卫 ;

赵杰 ;

陈大力 .

中国专利 :CN120866815A ,2025-10-31

[10]

利用分子层沉积的掺杂 [P].

王新科 ;

刘龙 ;

马克·萨利 ;

巴斯卡尔·乔蒂·布雅 ;

唐杰丛 ;

约翰·苏迪约诺 .

美国专利 :CN120883324A ,2025-10-31

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