蚀刻机（瀑布式）

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN202030659849.6

申请日：

2020-11-03

公开(公告)号：

CN306621172S

公开(公告)日：

2021-06-18

发明(设计)人：

卢炎崔柏伟陈叶娣刘东庭董何建晁睿

申请人：

申请人地址：

213164 江苏省常州市武进区鸣新中路26号

IPC主分类号：

1509

IPC分类号：

代理机构：

大连理工大学专利中心 21200

代理人：

戴风友;梅洪玉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种制造半导体瀑布式蚀刻机 [P].

卢炎 ;

崔柏伟 ;

陈叶娣 ;

刘东庭 ;

董何建 ;

晁睿 .

中国专利 :CN214327560U ,2021-10-01

[2]

高平 ;

刘亚飞 ;

邵文庆 .

中国专利 :CN309115015S ,2025-02-14

[3]

翻斗式蚀刻机 [P].

黎荣昌 .

中国专利 :CN101880877B ,2010-11-10

[4]

蚀刻液可循环式蚀刻机 [P].

顾卫明 ;

赵福庆 ;

胡松平 .

中国专利 :CN223674749U ,2025-12-16

[5]

湿式蚀刻机 [P].

刘灿 .

中国专利 :CN207391556U ,2018-05-22

[6]

干式蚀刻机 [P].

王雪刚 ;

寇鸿斌 ;

喻如军 .

中国专利 :CN207487966U ,2018-06-12

[7]

地漏（瀑布式） [P].

陈通鑫 .

中国专利 :CN307339823S ,2022-05-13

[8]

蚀刻机台脱膜清洗段用摇摆瀑布式清洗管 [P].

连大学 .

中国专利 :CN221361519U ,2024-07-19

[9]

蚀刻机及其主体 [P].

蔡翼 .

中国专利 :CN308711661S ,2024-07-02

[10]

蚀刻机腔室 [P].

王丽容 ;

李佳伟 ;

郭杰 .

中国专利 :CN309485739S ,2025-09-09

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