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用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810653373.7
申请日：
2018-06-22
公开(公告)号：
CN108649009A
公开(公告)日：
2018-10-12
发明(设计)人：
卡尔·罗伯特·休斯特
王溯
史蒂文·贺·汪
金金明
刘毅
申请人：
申请人地址：
201616 上海市松江区思贤路3600号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
上海弼兴律师事务所 31283
代理人：
薛琦;杨东明
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-10-12 | 公开 | 公开 |
| 2018-11-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20180622 |