多层堆栈栅极结构及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510078077.1

申请日：

2005-06-14

公开(公告)号：

CN100377307C

公开(公告)日：

2006-01-04

发明(设计)人：

马谛尔斯·高尔德巴法蓝克·雅库波斯其蓝夫·库波赖朝文克莉丝汀·舒波克密夏·舒密特黄承智

申请人：

申请人地址：

台湾省桃园县

IPC主分类号：

H01L2128

IPC分类号：

H01L21336 H01L218234 H01L2978

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波;侯宇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-03-26	授权	授权
2006-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-01-04	公开	公开

共 50 条

[1]

金属栅极结构及其制作方法 [P].

郑存闵 ;

何念葶 ;

陈健豪 ;

张净云 ;

黄信富 ;

蔡旻錞 ;

孙启原 ;

许启茂 .

中国专利 :CN104425575A ,2015-03-18

[2]

金属栅极结构及其制作方法 [P].

杨建伦 ;

许启茂 ;

吴俊元 ;

郑子铭 ;

邹世芳 ;

林进富 ;

黄信富 ;

蔡旻錞 .

中国专利 :CN102683397A ,2012-09-19

[3]

垂直栅极结构及其制作方法 [P].

谢颂康 ;

吕亚冰 ;

荆泉 ;

陈力钧 .

中国专利 :CN120857583A ,2025-10-28

[4]

沟槽式栅极结构及其制作方法 [P].

吴铁将 ;

陈逸男 ;

刘献文 .

中国专利 :CN102737972A ,2012-10-17

[5]

栅极结构与其制作方法 [P].

张钦福 ;

林昭维 ;

朱家仪 ;

童宇诚 .

中国专利 :CN111627993B ,2020-09-04

[6]

栅极结构的制作方法 [P].

朱梦媚 ;

尹记红 ;

许宗能 .

中国专利 :CN115332060B ,2022-11-11

[7]

栅极结构与其制作方法 [P].

张钦福 ;

林昭维 ;

朱家仪 ;

童宇诚 .

中国专利 :CN111627992A ,2020-09-04

[8]

栅极制作方法 [P].

彭虎 ;

季伟 ;

孙尧 ;

孙勤 ;

彭仕敏 .

中国专利 :CN102820215A ,2012-12-12

[9]

栅极的制作方法 [P].

王乐平 .

中国专利 :CN104485280A ,2015-04-01

[10]

栅极的制作方法、晶体管的制作方法 [P].

王冬江 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103137449A ,2013-06-05

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