低接触电阻型GaN基器件及其制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201611087793.0
申请日
2016-12-01
公开(公告)号
CN106449737B
公开(公告)日
2017-02-22
发明(设计)人
杨凌 康慨 周小伟 马晓华 郝跃
申请人
申请人地址
710071 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
IPC主分类号
H01L2945
IPC分类号
H01L2128 H01L21336
代理机构
陕西电子工业专利中心 61205
代理人
王品华;朱红星
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种低接触电阻型GaN基器件及其制作方法 [P]. 
祝杰杰 ;
马晓华 ;
郭静姝 ;
徐佳豪 ;
刘思雨 ;
宓珉瀚 .
中国专利 :CN114361032A ,2022-04-15
[2]
一种高可靠性低接触电阻型GaN基器件及其制作方法 [P]. 
祝杰杰 ;
马晓华 ;
郭静姝 ;
赵旭 ;
徐佳豪 .
中国专利 :CN114361030A ,2022-04-15
[3]
一种低接触电阻的GaN基器件及其制备方法 [P]. 
吴畅 ;
邢绍琨 ;
刘捷龙 ;
王凯 ;
李程程 .
中国专利 :CN118039687A ,2024-05-14
[4]
一种自对准低欧姆接触电阻GaN HEMT器件及其制造方法 [P]. 
朱广润 ;
张凯 ;
周建军 ;
陈堂胜 .
中国专利 :CN112885899A ,2021-06-01
[5]
一种低欧姆接触电阻的半导体器件及其制作方法 [P]. 
裴轶 ;
刘沙沙 .
中国专利 :CN104051523A ,2014-09-17
[6]
一种自对准低欧姆接触电阻GaN HEMT器件 [P]. 
朱广润 ;
张凯 ;
周建军 ;
陈堂胜 .
中国专利 :CN213782023U ,2021-07-23
[7]
低频率损耗GaN基微波功率器件及其制作方法 [P]. 
杨凌 ;
芦浩 ;
马晓华 ;
康慨 ;
周小伟 ;
宓珉瀚 ;
祝杰杰 ;
郝跃 .
中国专利 :CN107248528B ,2017-10-13
[8]
一种改善欧姆接触电阻的N面GaN基p沟道器件及其制备方法 [P]. 
马晓华 ;
王博麟 ;
张濛 ;
牛雪锐 ;
杨凌 ;
侯斌 ;
武玫 ;
宓珉瀚 ;
郝跃 .
中国专利 :CN114530496B ,2025-06-06
[9]
一种改善欧姆接触电阻的N面GaN基p沟道器件及其制备方法 [P]. 
马晓华 ;
王博麟 ;
张濛 ;
牛雪锐 ;
杨凌 ;
侯斌 ;
武玫 ;
宓珉瀚 ;
郝跃 .
中国专利 :CN114530496A ,2022-05-24
[10]
低接触电阻的氧化镓基场效应晶体管及其制作方法 [P]. 
苏杰 ;
常晶晶 ;
马开创 ;
林珍华 ;
郝跃 .
中国专利 :CN113421915A ,2021-09-21