一种改善欧姆接触电阻的N面GaN基p沟道器件及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202210013552.0
申请日
2022-01-06
公开(公告)号
CN114530496B
公开(公告)日
2025-06-06
发明(设计)人
马晓华 王博麟 张濛 牛雪锐 杨凌 侯斌 武玫 宓珉瀚 郝跃
申请人
西安电子科技大学
申请人地址
710000 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
IPC主分类号
H10D64/62
IPC分类号
H10D30/47 H10D30/01
代理机构
西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230
代理人
王萌
法律状态
授权
国省代码
陕西省 西安市
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共 50 条
[1]
一种改善欧姆接触电阻的N面GaN基p沟道器件及其制备方法 [P]. 
马晓华 ;
王博麟 ;
张濛 ;
牛雪锐 ;
杨凌 ;
侯斌 ;
武玫 ;
宓珉瀚 ;
郝跃 .
中国专利 :CN114530496A ,2022-05-24
[2]
一种具有高电流密度的N面GaN基P沟道器件及其制备方法 [P]. 
马晓华 ;
侯斌 ;
牛雪锐 ;
杨凌 ;
张濛 ;
武玫 ;
王冲 ;
郝跃 .
中国专利 :CN114530498B ,2025-09-19
[3]
一种具有高电流密度的N面GaN基P沟道器件及其制备方法 [P]. 
马晓华 ;
侯斌 ;
牛雪锐 ;
杨凌 ;
张濛 ;
武玫 ;
王冲 ;
郝跃 .
中国专利 :CN114530498A ,2022-05-24
[4]
低接触电阻型GaN基器件及其制作方法 [P]. 
杨凌 ;
康慨 ;
周小伟 ;
马晓华 ;
郝跃 .
中国专利 :CN106449737B ,2017-02-22
[5]
一种降低GaN HEMT器件欧姆接触电阻的方法 [P]. 
周建军 ;
孔岑 ;
郁鑫鑫 .
中国专利 :CN105118780B ,2015-12-02
[6]
一种改善欧姆接触电阻的方法 [P]. 
张明利 ;
闫稳玉 ;
赵利 .
中国专利 :CN106783569A ,2017-05-31
[7]
一种低接触电阻的GaN基器件及其制备方法 [P]. 
吴畅 ;
邢绍琨 ;
刘捷龙 ;
王凯 ;
李程程 .
中国专利 :CN118039687A ,2024-05-14
[8]
降低欧姆接触电阻的方法及其应用 [P]. 
吴增远 ;
肖阳 ;
荆晴晴 ;
彭宇杰 ;
蔡勇 .
中国专利 :CN119764165A ,2025-04-04
[9]
一种自对准低欧姆接触电阻GaN HEMT器件 [P]. 
朱广润 ;
张凯 ;
周建军 ;
陈堂胜 .
中国专利 :CN213782023U ,2021-07-23
[10]
降低HEMT器件欧姆接触电阻的方法 [P]. 
吕元杰 ;
冯志红 ;
顾国栋 ;
郭红雨 ;
尹甲运 ;
敦少博 .
中国专利 :CN103903982A ,2014-07-02