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碳化硅晶体生长装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111448112.X
申请日：
2021-11-30
公开(公告)号：
CN114059156A
公开(公告)日：
2022-02-18
发明(设计)人：
燕靖
陈俊宏
申请人：
申请人地址：
221004 江苏省徐州市徐州经济技术开发区软件园E1楼669室
IPC主分类号：
C30B2302
IPC分类号：
C30B2936
C30B2306
C30B2812
代理机构：
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人：
赵丽婷
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-18 | 公开 | 公开 |
| 2022-03-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 23/02 申请日:20211130 |