掩模板及其制备方法、曝光设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510172699.4

申请日：

2015-04-13

公开(公告)号：

CN104849966A

公开(公告)日：

2015-08-19

发明(设计)人：

王曼

申请人：

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F100 H01L21027

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

柴亮;张天舒

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-08-19	公开	公开
2015-09-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101625673189 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015101726994 申请日:20150413
2019-01-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20150819

共 50 条

[1]

掩模板及其使用方法、曝光设备 [P].

马国靖 ;

徐长健 ;

任锦宇 .

中国专利 :CN108169998B ,2018-06-15

[2]

掩模板、曝光设备及掩模板的制造方法 [P].

赵立星 ;

韩旭 ;

王胜广 .

中国专利 :CN108333864A ,2018-07-27

[3]

掩模板、曝光设备及紫外掩模基板的制备方法 [P].

刘正 ;

郭总杰 ;

张小祥 ;

张治超 .

中国专利 :CN104281014A ,2015-01-14

[4]

一种掩模板、曝光方法和曝光设备 [P].

马群 ;

张琨鹏 .

中国专利 :CN103885296B ,2014-06-25

[5]

掩模板及其制备方法 [P].

刘添彪 ;

林岳明 .

中国专利 :CN117420722A ,2024-01-19

[6]

掩模板及其制备方法 [P].

刘添彪 ;

林岳明 .

中国专利 :CN117369208A ,2024-01-09

[7]

掩模板及其制备方法 [P].

郝金刚 ;

彭志龙 ;

朴春培 ;

王威 .

中国专利 :CN101738846B ,2010-06-16

[8]

掩模板、曝光设备最佳焦距的监控方法 [P].

谭露璐 ;

赵新民 ;

金乐群 ;

周孟兴 .

中国专利 :CN103076715A ,2013-05-01

[9]

一种掩模板及其制备方法和曝光系统 [P].

罗丽平 ;

刘会双 ;

胡海琛 ;

孙增标 ;

王涛 ;

金基用 .

中国专利 :CN105093807B ,2024-01-23

[10]

一种掩模板及其制备方法和曝光系统 [P].

罗丽平 ;

刘会双 ;

胡海琛 ;

孙增标 ;

王涛 ;

金基用 .

中国专利 :CN105093807A ,2015-11-25

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