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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-03-16 | 授权 | 授权 |
| 2022-11-15 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 33/38 变更事项:专利权人 变更前:广东省半导体产业技术研究院 变更后:广东省科学院半导体研究所 变更事项:地址 变更前:510651 广东省广州市天河区长兴路363号 变更后:510651 广东省广州市天河区长兴路363号 |