一种面向亚纳米精度离子束抛光的面形误差优化去除方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911262675.2

申请日：

2019-12-10

公开(公告)号：

CN111002111A

公开(公告)日：

2020-04-14

发明(设计)人：

廖文林聂徐庆谢强张浩万稳蒋国庆聂旭涛张逸飞

申请人：

申请人地址：

621000 四川省绵阳市涪城区二环路南段6号

IPC主分类号：

B24B100

IPC分类号：

B24B1300 B24B4904 B24B5100

代理机构：

绵阳山之南专利代理事务所(普通合伙) 51288

代理人：

沈强

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 1/00 申请日:20191210
2020-04-14	公开	公开
2021-07-02	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B24B 1/00 申请公布日:20200414

共 50 条

[1]

离子束抛光工艺中面形收敛精度的控制方法 [P].

李圣怡 ;

戴一帆 ;

解旭辉 ;

周林 ;

郑子文 ;

王建敏 ;

尹自强 .

中国专利 :CN101261511A ,2008-09-10

[2]

一种亚纳米级离子束抛光设备 [P].

刁克明 .

中国专利 :CN206066090U ,2017-04-05

[3]

离子束抛光设备及应用其的离子束抛光方法 [P].

吴丽翔 ;

邱克强 ;

曾思为 ;

付绍军 .

中国专利 :CN104907894A ,2015-09-16

[4]

离子束抛光多工况去除函数获取方法 [P].

吴鹏 ;

唐浩展 ;

杨正 .

中国专利 :CN120337773A ,2025-07-18

[5]

一种亚纳米级离子束抛光设备及抛光方法 [P].

刁克明 .

中国专利 :CN106181594A ,2016-12-07

[6]

条形束斑离子束抛光的面形重构及扫描路径规划方法 [P].

吴丽翔 ;

魏朝阳 ;

邵建达 ;

胡晨 .

中国专利 :CN106649916B ,2017-05-10

[7]

一种非球面离子束抛光方法 [P].

陈智利 ;

刘卫国 ;

惠迎雪 ;

周顺 ;

张进 ;

陈鹏 .

中国专利 :CN114273986A ,2022-04-05

[8]

一种离子束抛光装置 [P].

黄贺 ;

张瀛怀 ;

房圣桃 ;

李鑫 ;

梁棋翔 ;

张健 ;

叶铭堃 .

中国专利 :CN119238225A ,2025-01-03

[9]

一种离子束抛光装备 [P].

张松林 .

中国专利 :CN222767939U ,2025-04-18

[10]

一种离子束抛光设备 [P].

常洪兴 ;

徐胜 .

中国专利 :CN210549947U ,2020-05-19

← 1 2 3 4 5 →