晶片清洗装置及晶片清洗方式

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910266338.0

申请日：

2009-12-24

公开(公告)号：

CN102107197A

公开(公告)日：

2011-06-29

发明(设计)人：

蔡新庭余政宏刘金光李明星庄玮宏童圭璋吕彦逸王进钦

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹科学工业园区

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

陈小雯

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-01	授权	授权
2012-09-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101327325258 IPC(主分类):B08B 3/02 专利申请号:2009102663380 申请日:20091224
2011-06-29	公开	公开

共 50 条

[1]

晶片清洗装置及晶片清洗方式 [P].

蔡新庭 ;

余政宏 ;

刘金光 ;

李明星 ;

庄玮宏 ;

童圭璋 ;

吕彦逸 ;

王进钦 .

中国专利 :CN104624545A ,2015-05-20

[2]

晶片清洗装置及晶片清洗方法 [P].

吉野道朗 ;

高桥正行 ;

松野行壮 ;

久保隆志 .

中国专利 :CN104347384A ,2015-02-11

[3]

晶片清洗装置及晶片清洗方法 [P].

姜喆求 ;

高建峰 ;

卢一泓 ;

刘卫兵 ;

丁云凌 .

中国专利 :CN114678322A ,2022-06-28

[4]

晶片清洗装置及晶片清洗方法 [P].

申埈燮 ;

张月 ;

杨涛 ;

卢一泓 ;

刘青 .

中国专利 :CN114226294A ,2022-03-25

[5]

晶片清洗装置及晶片清洗设备 [P].

张洁 ;

苏双图 ;

林武庆 ;

王泽隆 .

中国专利 :CN111009482B ,2020-04-14

[6]

晶片清洗装置及晶片清洗方法 [P].

慎吉晟 ;

胡艳鹏 ;

李琳 .

中国专利 :CN114425527A ,2022-05-03

[7]

晶片毛刷清洗装置及晶片毛刷清洗方法 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN102479669A ,2012-05-30

[8]

晶片清洗装置及晶片加工设备 [P].

欧阳鹏根 ;

盛永江 ;

杨水淼 ;

刘小琴 ;

赵阳阳 ;

李佳强 ;

王启杭 .

中国专利 :CN223491516U ,2025-10-31

[9]

晶片清洗装置及清洗方法 [P].

松永祐平 ;

冲田宪治 .

中国专利 :CN110911302A ,2020-03-24

[10]

晶片清洗装置及清洗方法 [P].

李敏 .

中国专利 :CN101651085A ,2010-02-17

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