晶片清洗装置及清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810118405.X

申请日：

2008-08-14

公开(公告)号：

CN101651085A

公开(公告)日：

2010-02-17

发明(设计)人：

李敏

申请人：

申请人地址：

100176北京市北京经济技术开发区文昌大道18号

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L2102 B08B302

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

李丽

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-02-17	公开	公开
2012-03-21	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101303549550 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:200810118405X 公开日:20100217
2010-04-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101000979415 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:200810118405X 申请日:20080814

共 50 条

[1]

晶片清洗装置及晶片清洗方法 [P].

吉野道朗 ;

高桥正行 ;

松野行壮 ;

久保隆志 .

中国专利 :CN104347384A ,2015-02-11

[2]

晶片清洗装置及晶片清洗方法 [P].

姜喆求 ;

高建峰 ;

卢一泓 ;

刘卫兵 ;

丁云凌 .

中国专利 :CN114678322A ,2022-06-28

[3]

晶片清洗装置及晶片清洗方法 [P].

申埈燮 ;

张月 ;

杨涛 ;

卢一泓 ;

刘青 .

中国专利 :CN114226294A ,2022-03-25

[4]

晶片清洗装置及晶片清洗方法 [P].

慎吉晟 ;

胡艳鹏 ;

李琳 .

中国专利 :CN114425527A ,2022-05-03

[5]

晶片清洗装置及清洗方法 [P].

松永祐平 ;

冲田宪治 .

中国专利 :CN110911302A ,2020-03-24

[6]

晶片清洗方法及清洗装置 [P].

刘庆辉 ;

任殿胜 ;

王育新 ;

王海楠 .

中国专利 :CN119049957A ,2024-11-29

[7]

晶片清洗装置及清洗方法 [P].

刘伟 ;

吴仪 ;

张豹 ;

蔡家骏 ;

初国超 .

中国专利 :CN102641869A ,2012-08-22

[8]

晶片清洗装置及晶片清洗方式 [P].

蔡新庭 ;

余政宏 ;

刘金光 ;

李明星 ;

庄玮宏 ;

童圭璋 ;

吕彦逸 ;

王进钦 .

中国专利 :CN102107197A ,2011-06-29

[9]

晶片清洗装置及晶片清洗设备 [P].

张洁 ;

苏双图 ;

林武庆 ;

王泽隆 .

中国专利 :CN111009482B ,2020-04-14

[10]

晶片清洗装置及晶片清洗方式 [P].

蔡新庭 ;

余政宏 ;

刘金光 ;

李明星 ;

庄玮宏 ;

童圭璋 ;

吕彦逸 ;

王进钦 .

中国专利 :CN104624545A ,2015-05-20

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