晶片清洗装置及晶片清洗方法

被引：0

申请号：

CN202011184980.7

申请日：

2020-10-29

公开(公告)号：

CN114425527A

公开(公告)日：

2022-05-03

发明(设计)人：

慎吉晟胡艳鹏李琳

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667

代理人：

赵永刚

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 3/02 申请日:20201029
2022-05-03	公开	公开

共 50 条

[1]

晶片清洗装置及晶片清洗方法 [P].

申埈燮 ;

张月 ;

杨涛 ;

卢一泓 ;

刘青 .

中国专利 :CN114226294A ,2022-03-25

[2]

晶片清洗装置及晶片清洗方法 [P].

吉野道朗 ;

高桥正行 ;

松野行壮 ;

久保隆志 .

中国专利 :CN104347384A ,2015-02-11

[3]

晶片清洗装置及晶片清洗方法 [P].

姜喆求 ;

高建峰 ;

卢一泓 ;

刘卫兵 ;

丁云凌 .

中国专利 :CN114678322A ,2022-06-28

[4]

晶片清洗装置及晶片清洗方式 [P].

蔡新庭 ;

余政宏 ;

刘金光 ;

李明星 ;

庄玮宏 ;

童圭璋 ;

吕彦逸 ;

王进钦 .

中国专利 :CN102107197A ,2011-06-29

[5]

晶片清洗装置及晶片清洗设备 [P].

张洁 ;

苏双图 ;

林武庆 ;

王泽隆 .

中国专利 :CN111009482B ,2020-04-14

[6]

晶片清洗装置及晶片清洗方式 [P].

蔡新庭 ;

余政宏 ;

刘金光 ;

李明星 ;

庄玮宏 ;

童圭璋 ;

吕彦逸 ;

王进钦 .

中国专利 :CN104624545A ,2015-05-20

[7]

晶片毛刷清洗装置及晶片毛刷清洗方法 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN102479669A ,2012-05-30

[8]

晶片清洗装置及清洗方法 [P].

松永祐平 ;

冲田宪治 .

中国专利 :CN110911302A ,2020-03-24

[9]

晶片清洗装置及清洗方法 [P].

李敏 .

中国专利 :CN101651085A ,2010-02-17

[10]

晶片清洗方法及清洗装置 [P].

刘庆辉 ;

任殿胜 ;

王育新 ;

王海楠 .

中国专利 :CN119049957A ,2024-11-29

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