薄膜沉积设备及使用该薄膜沉积设备的薄膜沉积方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210583872.6

申请日：

2012-12-28

公开(公告)号：

CN103184431B

公开(公告)日：

2013-07-03

发明(设计)人：

李勇锡许明洙赵喆来洪祥赫李正浩郑石源金善浩安美罗

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道龙仁市

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

C23C16455 C23C1422

代理机构：

北京铭硕知识产权代理有限公司 11286

代理人：

刘灿强;全成哲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-03	授权	授权
2013-07-03	公开	公开
2014-12-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101591990389 IPC(主分类):C23C 16/44 专利申请号:2012105838726 申请日:20121228

共 50 条

[1]

薄膜沉积装置、薄膜沉积方法及薄膜沉积设备 [P].

朱志君 ;

王晖 ;

金京俊 .

中国专利 :CN120193262A ,2025-06-24

[2]

薄膜沉积设备及薄膜沉积方法 [P].

林俊成 .

中国专利 :CN112442683A ,2021-03-05

[3]

薄膜沉积方法及薄膜沉积设备 [P].

骆金龙 .

中国专利 :CN113718219A ,2021-11-30

[4]

薄膜沉积设备及薄膜沉积方法 [P].

许波 ;

曹立新 ;

范慧 ;

朱北沂 .

中国专利 :CN103103480A ,2013-05-15

[5]

薄膜沉积腔及应用该薄膜沉积腔的薄膜沉积设备 [P].

许波 ;

曹立新 ;

范慧 ;

朱北沂 .

中国专利 :CN202576547U ,2012-12-05

[6]

薄膜沉积设备和薄膜沉积方法 [P].

韩亚朋 ;

骆金龙 .

中国专利 :CN113430501A ,2021-09-24

[7]

薄膜沉积方法和薄膜沉积设备 [P].

张图 ;

杨依龙 .

中国专利 :CN115928034B ,2025-11-11

[8]

薄膜沉积设备和薄膜沉积方法 [P].

朱瑞 ;

王馨悦 ;

贾兰 ;

王璐 ;

李疆琨 ;

李培培 ;

张腾 .

中国专利 :CN119663249A ,2025-03-21

[9]

薄膜沉积方法和薄膜沉积设备 [P].

钱心嘉 .

中国专利 :CN117845181A ,2024-04-09

[10]

薄膜沉积设备及薄膜沉积设备的控制方法 [P].

刘洋 ;

任兴润 ;

何丹丹 ;

王婷 .

中国专利 :CN111411342B ,2020-07-14

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