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一种MEMS封装结构及其制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110808952.6
申请日：
2021-07-16
公开(公告)号：
CN113526454A
公开(公告)日：
2021-10-22
发明(设计)人：
蔺光磊
申请人：
申请人地址：
201600 上海市松江区泖港镇中南路32号
IPC主分类号：
B81B700
IPC分类号：
B81B702
B81C100
代理机构：
北京思创大成知识产权代理有限公司 11614
代理人：
张立君
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/00 申请日:20210716 |
| 2021-10-22 | 公开 | 公开 |