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静电卡盘装置的修补方法和修补装置、以及静电卡盘装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201010003196.1
申请日：
2010-01-14
公开(公告)号：
CN101783310A
公开(公告)日：
2010-07-21
发明(设计)人：
吉冈建
高桥秀一
佐佐木康晴
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
龙淳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2010-09-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005820968 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2010100031961 申请日:20100114 |
| 2012-08-15 | 授权 | 授权 |
| 2010-07-21 | 公开 | 公开 |