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低温多晶硅薄膜晶体管及其制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201510799096.7
申请日：
2015-11-18
公开(公告)号：
CN105321825A
公开(公告)日：
2016-02-10
发明(设计)人：
张占东
申请人：
申请人地址：
430079 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
IPC主分类号：
H01L21336
IPC分类号：
H01L29786
H01L2906
代理机构：
深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300
代理人：
黄威
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-02-10 | 公开 | 公开 |
| 2016-03-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101650095513 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2015107990967 申请日:20151118 |
| 2019-07-12 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/336 申请公布日:20160210 |